氧化釔 氟氧化釔 YF3 YOF Y5O4F7 Y2O3
概述：氧化釔 氟氧化釔 YOF Y5O4F7 YF3 Y2O3
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銷售區(qū)域：
福建/福州/晉安/鼓山鎮(zhèn)
價格：
- 11 元/千克
起售數(shù)量：
- 10
品牌：
- LIANHE
送貨上門：
- 是
聯(lián)系電話：
15359175265
林先生
QQ：
190143014 
半導體刻蝕設(shè)備零部件再生
半導體刻蝕設(shè)備零部件清洗
半導體刻蝕設(shè)備零部件噴涂
作為半導體制造設(shè)備內(nèi)部的保護性涂層，半導體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應性鹵素或氧系等離子體。
若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微觀電路的缺陷。
因此，于半導體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御等離子體的耐蝕性和保護設(shè)備之元件的保護性涂層。
此保護性涂層之一是對于種類繁多的等離子體展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。
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