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LED無塵車間設計施工 

概述: LED無塵車間生產環(huán)境要求: 潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環(huán)境的要求確定。 當出現(xiàn)下列情況之一時,空氣凈化調節(jié)系統(tǒng)宜分開設置: &nbs
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LED無塵車間生產環(huán)境要求:


潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環(huán)境的要求確定。

 當出現(xiàn)下列情況之一時,空氣凈化調節(jié)系統(tǒng)宜分開設置:

    2 溫濕度基數(shù)和允許波動范圍差別大的潔凈室;

    3 凈化空調系統(tǒng)和一般空調系統(tǒng);

    4 潔凈室內工藝設備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室;

    5 系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng)。

換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統(tǒng),排風口宜設置在下部;換鞋柜宜設置局部排風措施;一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統(tǒng)。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風應進行集中處理,新風處理機組的設置應符合下列規(guī)定:

    1 送風機應采取自動調速措施;

    2 空氣宜經過粗效、中效、高效過濾器三級處理;

    3 新風處理機組應有良好的氣密性,在工作壓力下的漏風率不得大于1%。

光刻間凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理,其他潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風宜采用循環(huán)空氣處理機組處理。

金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)應獨立設置。

循環(huán)空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。

循環(huán)空氣處理機組的風機應采取自動調速措施。

空調加熱、加濕系統(tǒng)的設計應利于工廠余熱的利用。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風吸入口位置,應遠離排放有害物或可燃物的排氣口。

上技術夾層凈高應按照空調設備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定,不宜低于2m。

發(fā)光二極管生產宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。

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