氟氧化釔 選購(gòu)指南
氧化釔 氟氧化釔 YF3 YOF Y5O4F7 Y2O3
半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備零部件再生 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備零部件清洗 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備零部件噴涂 作為半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部的保護(hù)性涂層,半導(dǎo)體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應(yīng)性鹵素或氧系等離子體。 若非耐電漿材料元件(如,石英玻璃、氧化鋁和陽(yáng)極化的鋁)以原本狀態(tài)使用,則會(huì)發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子,其造成半導(dǎo)體上之微觀(guān)電路的缺陷。 因此,于半導(dǎo)體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御等離子體的耐蝕性和保護(hù)設(shè)備之元件的保護(hù)性涂層。 此保護(hù)性涂層之一是......




