概述：產(chǎn)品介紹：東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司 3D測(cè)量顯微鏡，是同時(shí)具有高精度線性測(cè)量和觀察功能的多功能檢測(cè)儀器，廣泛用于LED照明，半導(dǎo)體，顯示屏，微電子器件等產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)檢測(cè)，主體機(jī)構(gòu)通過搭配不同的鏡筒、照明裝置、升降機(jī)構(gòu)、物鏡及對(duì)焦機(jī)構(gòu)的選擇，組成多款不同系列的機(jī)型，完全按測(cè)量要求訂購設(shè)備。東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司 模塊化設(shè)計(jì)，兩款經(jīng)典機(jī)身供選擇隨心所欲加裝不同鏡 頭組及照明系統(tǒng)； 擁有優(yōu)越的光學(xué)性能和超高測(cè)量精度，搭配主體的操作平衡性，讓之前不可見的幾乎不可見的物件可觀察，可測(cè)量： 次微米精度，出色的多功能性，更適合高性能零件，電子組件的三維測(cè)量； 可輕易測(cè)量易碎工件儀具有極小細(xì)節(jié)的工件； 視場(chǎng)廣闊，可得清晰正像，可選配多種CCD攝像機(jī)輸出圖像檢測(cè)； 照明裝置（反射，投射），可選用高亮度LED的照明或鹵素照明； 快速釋放裝置便于測(cè)量大工件或多個(gè)數(shù)量工件時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)，Z軸兩側(cè)均同軸粗/微調(diào)手輪，確保能以最快速度實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)焦。 技術(shù)參數(shù)：東莞市歐準(zhǔn)特儀器有限公司 產(chǎn)品型號(hào) 0ZT-1510T OZT-2010T 0ZT-300/400/500非標(biāo)定制 測(cè)量范圍mm 150*100 200*100 按要求定制 各種測(cè)量范圍的機(jī)型 Z軸電動(dòng)或Z軸測(cè)量 CNC大行程機(jī)型定制等 玻璃臺(tái)面尺寸mm 160*60 260*160 工作臺(tái)面尺寸mm 260*160 360*260 外形尺寸L*H*Wmm 480*750*720 580*750*720 機(jī)器重量KG 30 70 鏡筒/圖像 可選擇單目或雙目鏡筒，帶有標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口，圖像：正像/反像 測(cè)量方法 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光或微分干涉對(duì)比觀測(cè);輔助對(duì)焦系統(tǒng)： 目鏡 10X(視場(chǎng)直徑：25mm或22mm),可選十字分板割 物鏡 95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100選配)或60mm：5x,10x,20x,50x,100x 明視場(chǎng) 所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列鏡頭 暗視場(chǎng) 所有Plan FLUOR EPI-BD系列鏡頭 調(diào)焦系統(tǒng) 粗微調(diào)同軸，左右手柄（粗調(diào)：40mm/圈、微調(diào)：0.02mm/圈） 照明裝置 投射：白色LED照明，無極亮度可調(diào)；反射：內(nèi)置孔徑光闌、無極亮度可調(diào)、5W LED光源 數(shù)字計(jì)數(shù)器 0.001mm/0.0005/0.0001mm(可選配) 測(cè)量精度(μm) X-Y≤（2.5+0.02L）μm L為被測(cè)長(zhǎng)度（單位：mm） ​